第一百三十三章:刀具的Lifetime
如果將FOL車間比喻成一家豪華七星級大酒店,鍵合工序機臺眾多,被安排在了大堂,晶圓切割工序跟減薄工序一樣,機臺數(shù)量少,都安排在了獨立的小包廂里。
這兩個工序通過一道小門相連接,共用去離子DI純水。
DI純水的作用有三個,一個是清洗切割過程中產(chǎn)生的硅屑,一個是對切割過程產(chǎn)生的熱量起到降溫,另一個是對晶圓起到ESD靜電防護。
這道工序的目的是將圓鏡一般的晶圓分割成一粒...
張江IT男
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