第113章 必須對(duì)光刻機(jī)的系統(tǒng)進(jìn)行改造
郭一略一沉思,便知道安城在擔(dān)心什么,他也是笑了笑,然后說道:
“這種制程工藝的提升并不具備通用性,這種改造的原理很簡(jiǎn)單,我也只是在光刻十步法的基礎(chǔ)上進(jìn)行的微調(diào)。
光刻十步法,這并不是什么新鮮的東西,其中的流程大家都知道,這是基礎(chǔ)原理。
如果用在同類型的光刻機(jī),也就是魔都微電子的90nm這款光刻機(jī)上,我的改造方案是有參考價(jià)值的。但換一種光刻機(jī)的話,那就完全不適用了。...