第187章 極紫外光源的進展

　　光學技術研發(fā)實驗室

　　徐華和李默這兩位負責人正在為極紫外光源技術的幾個問題進行討論。

　　“李博士，雖然我們有復眼鏡頭的加持，但是在靶材、碎屑污染也是問題?。　?p>　　徐華有些犯愁。

　　雖然說蜂巢復眼鏡頭技術的出現，從某種程度上解決了極紫外光源的核心鏡片問題，但是仍舊有一些問題存在。

　　眾所周知，EUV極紫外光刻機最為關鍵的部件就是極紫外光源，這就不用多說了。...