中科院微電子中心出產(chǎn)的0.8微米工藝光刻機(jī)，其光源和光電成像照準(zhǔn)系統(tǒng)都是光電所的杰作。作為光電所的一把手，趙院長對(duì)光刻機(jī)也算是大半個(gè)行家了。
只一眼，他就認(rèn)出了這套光刻機(jī)的出身。1995年上半年微電子中心，才完成了0.8微米工藝光刻機(jī)的研發(fā)。產(chǎn)量在那里明擺著，一共也沒有生產(chǎn)出多少來。沒辦法，中科院當(dāng)幕后老板，國內(nèi)最有可能向這方面發(fā)展的夢幻集團(tuán)，都放棄了走技術(shù)路線。除非國家上馬...