九十三、深耕布局
第二天早上,徐光亮又來(lái)到了光刻機(jī)生產(chǎn)線這邊來(lái),同來(lái)的還有納米碳管光刻機(jī)的人,他打算將正在建的第五條和第六條硅基光刻機(jī)的生產(chǎn)線改為納米管光刻機(jī)生產(chǎn)線。
實(shí)際上,這并不難,只是現(xiàn)在納米管光刻機(jī)的技術(shù)還沒有定下,比如說(shuō)納米管光刻機(jī)不可能只采用一個(gè)頭進(jìn)行生產(chǎn),這就需要較為復(fù)雜的機(jī)械結(jié)構(gòu)去保證每個(gè)頭的精度,讓光刻機(jī)能夠同時(shí)將一張晶圓上所有有效空間都能得到充分利用,并且可以同時(shí)完成。
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森林智宇
不好意思,公司有點(diǎn)事耽誤了一下……求支持 2020/12/10修訂完成。